走査型電子顕微鏡 SU3500

概要

メーカー⽇⽴ハイテクノロジーズ
設置場所ウエスト5号館116室
担当者山口

特色

絶縁物試料を前処理なしで低真空観察できるだけでなく、クールステージを使用することにより、水分の多い試料や熱ダメージに弱い試料も収縮や変形を抑えて観察できます。高感度低真空検出器（UVD）を装備していますので、試料表面の微細構造観察が可能です。試料を導電処理した高真空条件下では、低加速電圧で高分解能（3kVで7nm、5kVで10nm）の観察が行えます。赤外線チャンバースコープ、連続視野画像取込/表示機能（Zigzag Capture/Viewer）も搭載しています。試料の導電処理にはイオンスパッタ装置（MC1000）を準備しています。

参考URL

https://www.hitachi-hightech.com/jp/about/news/2012/nr20120511.html

利用事例論文リスト

ご利用方法・注意事項

依頼測定（分析を依頼する場合）

自主測定（装置をご利用の場合）

依頼測定（分析を依頼する場合）

依頼測定のご利用方法

先ずはメールで担当者にお問い合わせ下さい。
dyama＊agr.kyushu-u.ac.jp（＊は@に修正してください）

自主測定（装置をご利用の場合）

利用料金

1400円/h

SU3500使用上の注意

本装置利用に際しては下記事項の厳守をお願いいたします。
  1. 装置の利用は、あらかじめ利用申込書を提出いただいた上で、操作・取扱いの説明を受けた方に限ります。
  2. 利用予約は原則先着順とし、Web上でおこなっていただきます。農学研究院研究教育支援センターホームページにある機器予約システムにてSU3500の利用状況を確認し、空いている時間帯に予約してください。キャンセルや予定変更が生じた場合はすみやかに技術室（東ウイング312室　内線：4801）に連絡するか、予約を削除してください。
  3. SU3500は東ウイング116室に設置されています。出入口は通常施錠されていますので、使用の都度技術室で鍵を受け取ってください。入退室は予約時間内でお願いいたします。
  4. 116室ではVHX-6000の利用者が同時に作業する場合があります。
  5. 最後に退出される方は、116室の消灯、施錠をお願いいたします。空調機使用時は忘れずに停止してください。
  6. 測定は、安全に配慮した衣服で実施してください。
  7. 試料室内に入れるものに素手で触れないよう、手袋を着用してください。試料はカーボンテープ等で試料台に貼り、ブロワーをかけてください。
  8. 試料台サイズおよび試料高さを正しく設定してください。誤った設定は対物レンズやBSE検出器破損の要因となります。BSE検出器を使用しない場面では、対物レンズ下面から待避させてください。
  9. Tilt軸の操作は可動範囲内で行ってください。可動範囲は試料台のサイズや高さ、Z軸座標によって変わります。可動範囲を超えて傾斜するとレンズや検出器破損の要因となります。
  10. データ抜き出し用のUSBは各自用意し、鍵の受け取りの際に312室カウンターのパソコン等を用い直前にウイルスチェックをおこなったものを接続してください。
  11. MK3クールステージの取り付けと取り外しは原則的に担当職員が行います。使用予定者は事前に担当職員との日程調整を行った上で装置の予約をしてください。
  12. 使用簿の記入をお願いいたします。
  13. 装置の利用により得られた研究成果について学会や学術論文等にて公開される際は、九州大学大学院農学研究院研究教育支援センター（Center for Advanced Instrumental and Educational Supports, Faculty of Agriculture, Kyushu University）にて実施された旨、あるいは当センターの機器を使用された旨を謝辞や実験方法の項にご記載ください。成果の公開にあたってはセンターにご一報くださいますようお願いいたします。